Fabrication d'un miroir asphérique SIC 720 mm

3. RECHERCHE: le polissage rugueux améliore encore la rugosité de la surface et la précision de surface des miroirs asphériques plus grands SIC. Les petites têtes de broyage CNC sont toujours utilisées pour le polissage rugueux, et la finition magnétorhéologique MRF au deuxième stade est également impliquée. Après polissage rugueux, la surface du miroir entre dans le stade de métrologie de l'interférence et peut entrer dans l'étape de revêtement SI après que la valeur RMS de précision de surface soit meilleure que 1/10 λ.

4. REVOIR: Le matériau vide du miroir d'un grand miroir asphérique SIC d'ouverture utilise souvent un matériau SIC dirigée par la réaction, qui a une densité légèrement inférieure par rapport au matériau SIC à la pression. Afin d'améliorer la réflectivité du plus grand miroir asphérique d'ouverture SIC, une couche de Si est plaquée sur la surface du miroir pour améliorer la densité de surface.

5. Polissage final: Après modification, le miroir asphérique plus grand ouverture SIC pénètre dans le stade de polissage fin. Les petites têtes de broyage CNC, le polissage des relevés de contrainte et la finition magnétorhéologique MRF sont souvent utilisés dans le stade initial du polissage fin pour éliminer la couche relativement lâche sur la surface modifiée. Plus tard, les petites têtes de broyage CNC, ainsi que la figure du faisceau d'ions, sont utilisées pour affiner la précision de la surface aux exigences de conception. À l'heure actuelle, la précision de surface des miroirs asphériques d'ouverture SIC plus importants peut être traitée à une valeur RMS en diamètre plein à 1/60 λ ou même mieux.

Après plusieurs années d'accumulation technique, MG-Optics a actuellement la capacité de développer l'ensemble du processus du miroir asphérique SIC à grande hauteur. Un ensemble de miroir asphérique SIC à grande hauteur de 720 mm de diamètre a été complété avec une valeur RMS de précision de précision finale de plus que 1/60 λ.