Conception d'un assemblage de miroir à balayage SIC ultra-léger

Structure arrière du miroir à balayage ultra-léger

Le corps miroir était en carbure de silicium et la structure de support était en acier de l'indium. La rigidité de support et la précision de surface de l'assemblage du miroir de balayage sont simulées et analysées par analyse par éléments finis et vérifiées par test réels.

Modèle d'éléments finis de l'ensemble de miroir de balayage

Les résultats montrent que la valeur maximale du carré moyen (RMS) de l'erreur de forme du miroir de balayage est de 9,705 nm, le résultat du test réel 10.125 nm, l'erreur est de 4% et répond à l'exigence que la valeur RMS devrait être inférieure à 12,6 nm dans Le cas de la gravité dans toutes les directions et le couple de la tige.

Résultat de test de précision de surface

La fréquence naturelle du premier ordre du composant était de 302,25 Hz, ce qui répondait aux exigences de rigidité. Les résultats montrent que la méthode proposée est raisonnable et efficace, ce qui résout le problème que la structure ultra-légère et la rigidité structurelle et la précision de la surface optique sont difficiles à garantir à la fois.

Assemblage de miroir de balayage

Sur la base du principe de la manche à cône et de la charnière flexible, un assemblage de miroir à balayage avec support de dos intégré est proposé. Les principaux paramètres de la liaison flexible sont déterminés par simulation numérique et calcul itératif, qui fournit une référence technique pour l'optimisation des paramètres de la structure de support flexible.